Im Rahmen dieser Arbeit werden haftstellen-basierte Speicherzellen als mogliche Alternative zum bestehenden Floating-Gate Konzept untersucht. Hierbei wird zunachst mittels Simulation und ausgewahlten Messverfahren das Verstandnis der Funktionsweise vertieft. Der darauffolgende Abschnitt befasst sich mit der Verbesserung der elektrischen Eigenschaften, basierend auf Anderungen der verwendeten Materialien und dem raumlichen Aufbau. Abschliessend erfolgt die Untersuchung der Anwendbarkeit des Zellkonzeptes in hochdichten Zellenfeldern.