Ces travaux sont ax s sur la mise au point d'un proc d de synth se de couches minces basse temp rature d'un mat riaux di lectrique forte conductivit thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la pr sentation de l' tat des connaissance dans les domaines des mat riaux di lectriques cristallins ainsi que des proc d s plasma et d'autre part sur la pr sentation des m thodes permettant une compr hension fine des propri t s intrins que des mat riaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitu des tudes men es lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'universit de Nantes qui s'appuie principalement li es les domaines des proc d s et des mat riaux afin d'en optimiser les propri t s.