Nella moderna microelettronica, il settore in pi intenso sviluppo  quello dei sistemi microelettromeccanici, MEMS. Questa direzione si basa sulle ultime conquiste delle tecnologie microelettroniche e mira a creare micromeccanismi esecutivi che hanno capacit funzionali prima irraggiungibili. Negli ultimi anni, i MEMS hanno avuto un forte impatto sulla vita quotidiana di decine di milioni di persone, attraverso la creazione di nuovi mercati per l'elettronica mobile, con propriet e industrie di consumo precedentemente sconosciute - automotive, elettronica, aerospaziale, medicale, ecc. Tuttavia, ad oggi, la maggior parte degli specialisti, degli sviluppatori di apparecchiature elettroniche e degli utenti di dispositivi ad alta tecnologia non dispone di informazioni sufficienti sulla nuova direzione della microelettronica. Il libro considera lo stato attuale di questa direzione della microelettronica, un'ampia gamma delle sue possibilit pratiche e prospettive di ulteriore sviluppo. Vengono considerati i principi fisici del funzionamento dei MEMS e le loro caratteristiche. Il libro  destinato agli specialisti della microelettronica, dell'informatica e agli studenti delle universit tecniche.