Разработка данной работы возникла как подготовка к будущему проекту СЕММПРЕ, который заключается в производстве тонких пленок ДЛС для поршневых колец двигателей внутреннего сгорания с высокой степенью сжатия, осаждаемых с помощью HiPIMS в режиме ДОМС. Целью данной работы является изучение влияния определенных параметров осаждения в образцах, чтобы получить руководство для выполнения проекта. Изменение смещения подложки показывает, что при увеличении смещения подложки в процессе осаждения твердость ДЛС покрытий увеличивается. При увеличении смещения подложки ионы углерода в плазме притягиваются с большим импульсом к подложке, что приводит к более компактной структуре пленок. В рамках данной диссертации в разрядный газ подается Ne и изучается его влияние. Не увеличивает степень ионизации углерода в плазме, что увеличивает соотношение sp3 в структуре пленки. Поскольку sp3 является более мощной гибридизацией, покрытия, осажденные с помощью Ne, демонстрируют большую твердость в тесте на